Les manomètres à tube manométrique sont couramment utilisés pour mesurer la pression, mais cela ne signifie pas qu’ils constituent la meilleure solution de mesure de la pression pour les applications de semi-conducteurs. Le mini manomètre à membrane WIKA pour l’industrie du semi-conducteur est spécialement conçu pour résister aux fluides agressifs et aux environnements corrosifs que l’on trouve dans certaines applications de très haute pureté.
Pour l’industrie des semi-conducteurs, les manomètres à tube manométrique sont populaires pour plusieurs raisons. Disponibles et faciles à utiliser, ils constituent une solution économique de mesure de la pression pour la plupart des applications de haute pureté (HP) et d’ultra-haute pureté (UHP). Toutefois, ces avantages ne l’emportent pas sur les aspects négatifs potentiels lorsqu’ils sont utilisés dans des applications nécessitant des gaz hautement réactifs.
Corrosion : le point faible des tubes manométriques
Aujourd’hui, de nombreux procédés dans l’industrie des semi-conducteurs nécessitent l’utilisation de gaz d’attaque et de dépôt très agressifs. Comme ces gaz ultra purs se déplacent de leurs réservoirs vers l’environnement du process, en cas de fuite dans une partie quelconque du système de distribution du gaz, ils peuvent recueillir l’humidité de l’air ambiant. Lorsque des gaz très réactifs rencontrent l’eau, ils deviennent des acides corrosifs.
Les tubes manométriques, qui sont normalement constitués d’un métal très fin non passivé (alliage de cuivre ou acier inoxydable), fonctionnent par flexion. Avec le temps, ce mouvement crée des micro-fissures. Ces fissures à peine détectables ne posent pas de problème dans de nombreuses applications industrielles. Cependant, lorsque des fissures microscopiques entrent en contact avec des acides corrosifs, elles deviennent rapidement un problème grave. Très vite, l’instrument ne fonctionne plus.
Notre solution pour la corrosion des manomètres dans l’industrie des semi-conducteurs
Si un manomètre pour les applications dans le semi-conducteur peut ne pas utiliser de tube manométrique pour mesurer la pression, une source importante de fuite est éliminée. C’est précisément dans ce cas que le mini manomètre à membrane UHP WIKA présente un avantage certain. L’élément de mesure est une membrane, qui plus est réalisée en Inconel® 718, un super alliage très résistant à la corrosion. Le boîtier en acier inoxydable 316L est entièrement passivé et poli électrochimiquement et toutes les pièces en contact avec le fluide sont isolées de l’atmosphère.
Mini manomètres à membrane WIKA
WIKA produit deux mini-manomètres à membrane (2 diamètres différents) idéaux pour les procédés UHP dans l’industrie des semi-conducteurs. Les avantages de ces manomètres sont :
- Diamètres nominaux de 1″ (modèle 432.10) et 1.3″ (modèle 432.15), idéal pour les applications où l’espace est limité
- Capacité à résister aux substances gazeuses, liquides et corrosives jusqu’à 160 psi
- Test de fuite à l’hélium pour répondre aux normes de pureté
- Respect des normes SEMATECH et SEMI
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